Rusland denkt een eigen lithografiemachine te kunnen ontwerpen die goedkoper en eenvoudiger is dan de machinerij van ASML. Dat moet de binnenlandse chipproductie optrekken.
Het Russische Instituut voor Fysica van Microsystemen (IFM RAN) legt een plan op tafel om een eigen lithografiemachine te ontwikkelen, ter vervanging van marktleider ASML. Sinds de inval in Oekraïne en de daaropvolgende economische sancties, leveren Westerse bedrijven geen geavanceerde technologie meer aan Rusland. Rusland is op zichzelf aangewezen en dat verloopt niet van een leien dakje.
11,3 nm
Rusland heeft een plan ontwikkeld om een eigen lithografiemachine te produceren die goedkoper en eenvoudiger is dan de machines van ASML. De Russische aanpak richt zich op het gebruik van een alternatieve technologie met een golflengte van 11,2 nanometer, in plaats van de industriestandaard 13,5 nanometer die ASML hanteert.
Dit kan volgens de onderzoekers de resolutie met 20 procent verbeteren en de kosten van productieonderdelen, zoals spiegels en lenzen, verlagen. Bovendien wordt voorgesteld om de huidige tinbron te vervangen door een xenonbron. Deze verandering zou de slijtage van optische elementen drastisch verminderen en de levensduur van kritieke onderdelen verlengen.
De omschakeling naar 11,2 nanometer houdt wel in dat een volledig nieuw ecosysteem rond de standaard zou moeten worden opgezet. De productiecapaciteit van de machine zou ook een stuk lager liggen, al lijkt de machine voornamelijk bedoeld voor de binnenlandse productie. Er wordt wel gesproken over export, maar dat zal slechts voor een selecte markt zijn die niet wordt bediend door de traditionele chipbakkers.
Ambitieus, maar weinig realistisch
Het ‘dynamische’ plan wordt verdeeld in drie fases. De eerste fase richt zich op onderzoek en de ontwikkeling, inclusief het testen van prototypes. In de tweede fase wordt een experimentele lithografiemachine gebouwd voor testproductie met wafers van 200 of 300 mm. De uiteindelijke derde fase omvat de productie van volledig operationele machines voor commerciële doeleinden.
Over timings wordt niet gesproken. De context waarin het plan moet worden uitgevoerd maakt het niet eenvoudig. De beschikbare budgetten voor R&D zijn beperkt en de importrestricties bemoeilijken de toegang tot onderdelen. Bovendien moet er een ecosysteem rond een volledig nieuwe standaard worden opgezet. Het lijkt ons weinig waarschijnlijk dat Rusland zijn technologische achterstand zomaar zal kunnen wegwerken.
lees ook